| 发明名称 | 研磨材料浆及使用该浆料的研磨材料 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可以确保良好的研磨速度的同时抑制底层的损伤的研磨材料浆。该研磨材料浆包括含有酰胺基的树脂(A)和有机树脂(B)。 | ||
| 申请公布号 | CN100570827C | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
| 申请号 | CN200680011703.8 | 申请日期 | 2006.04.14 |
| 申请人 | 三井化学株式会社 | 发明人 | 江藤彰纪;大池节子;石塚友和;藤井重治;进藤清孝 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟 晶 |
| 主权项 | 1.一种研磨材料，其特征在于，包括含有酰胺基的水溶性树脂(A)和有机粒子(B)，所述有机粒子(B)为在所述含有酰胺基的水溶性树脂(A)的存在下聚合1种以上的乙烯基单体而得到的粒子，该研磨材料的pH为7以上9以下，并且，相对于全部树脂成分，含有10重量％以上90重量％以下的所述含有酰胺基的水溶性树脂(A)，含有90重量％以下10重量％以上的所述有机粒子(B)。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||