等离子体设备和系统

摘要

一种双等离子体设备，包括阳极等离子体头和阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极和等离子体流动通道和在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口。阳极等离子体头和阴极等离子体头定位成朝彼此成一角度。至少一个等离子体流动通道包括三个大体为圆柱形的部分。等离子体流动通道的这三个大体圆柱形部分减少了侧面起弧的发生。

主权项

1.一种双等离子体设备，包括：阳极等离子体头和阴极等离子体头，每个所述等离子体头包括电极和等离子体流动通道和布置在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口，所述阳极等离子体头和所述阴极等离子体头定向为朝彼此成一角度；以及至少一个所述的等离子体流动通道包括：第一大体圆柱形部分，与所述电极相邻并具有直径D1；第二大体圆柱形部分，与所述第一部分相邻，具有直径D2；以及第三大体圆柱形部分，与所述第二部分相邻，具有直径D3，其中D1＜D2＜D3。