一种硅片清洗剂的制备方法

摘要

一种硅片清洗剂的制备方法，涉及光利用技术领域，先将硼酸钠和焦磷酸钾混合溶于水中，再将氢氧化钾溶于水中，再分别将椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、辛烷基苯酚聚氧乙烯醚溶于水中，再将两溶液均匀混合，最后将以上三种溶液均匀混合，即成硅片清洗剂。本发明方法简单、易于生产，可有效降低生产成本，且生成的清洗剂原液可长期保存、运输，产品不含任何有机溶剂，无任何刺激性气味，工作液的pH值在9～11，并且清洗效率高，使用周期长，对硅片无腐蚀性等特点。本发明与传统的硅片清洗剂相比单位成本下降近60％。

主权项

1、一种硅片清洗剂的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)将硼酸钠和焦磷酸钾混合溶于水中；2)将氢氧化钾溶于水中；3)分别将椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、辛烷基苯酚聚氧乙烯醚溶于水中，再将两溶液均匀混合；4)将以上三种溶液均匀混合，即成硅片清洗剂。