机电元件及使用该机电元件的电气设备

摘要

本发明提供一种机电元件及使用该机电元件的电气设备。向机电元件输入高电力的信号时，产生由静电力使可动电极无意地被自动驱动的现象。本发明防止这样的现象，实现可靠性高的机电元件。本发明的机电元件是形成在基板上的机电元件，具有通过可动电极与间隙形成的信号电极与驱动电极。通过在可动电极与驱动电极之间施加引力，能够使可动电极接触信号电极。通过可动电极与驱动电极在高频信号的输入端子侧经由绝缘层进行对置，形成大的静电电容。其结果，由于在输入高电力信号的情况下也会降低可动电极与驱动电极之间的电位差，因此能够实现高可靠性的机电元件。

主权项

1、一种机电元件，形成在基板上，其特征在于，具备第1电极、隔着间隙形成的第2电极和第3电极，通过在所述第1电极与所述第3电极之间施加引力，能使所述第1电极与所述第2电极接触，在高频信号的输入端口侧具备通过所述第1电极与所述第3电极经由绝缘层对置而形成的静电电容。