| 发明名称 |
PROCESS FOR FORMING PATTERN ON THIN FILM AND PROCESS FOR PRODUCTION THIN FILM MAGNETIC HEAD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01232348(A) |
申请公布日期 |
1989.09.18 |
| 申请号 |
JP19880058259 |
申请日期 |
1988.03.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IKEDA HIROSHI;SAITO HARUNOBU;KOKADO YUICHI |
| 分类号 |
G03F7/40;G03C5/00;G03C11/00;G03F7/00;G03F7/26;G11B5/31;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 |
主分类号 |
G03F7/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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