| 发明名称 | 工件载盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种工件载盘，包括有：载盘主体，为一框体，其具有相互平行设置的框边以及均布于所述框边内缘的多个通孔；多个复位元件，其具有一固定块体以及一与该固定块体连结的可动块体，所述固定块体设置于所述框边上；多个防镀遮片，其一侧边固定于所述复位元件的可动块体，并位于所述载盘主体的框边内缘的通孔上方的位置；通过上述结构，该工件载盘适用于溅镀工序中，并通过使用防镀遮片遮蔽工件不需要溅镀的部位，而改善常用工件载盘无法防镀的缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN201362740Y | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
| 申请号 | CN200920001251.6 | 申请日期 | 2009.01.19 |
| 申请人 | 钰衡科技股份有限公司 | 发明人 | 洪婉玲;郭勋聪 |
| 分类号 | C23C14/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;B65D19/00(2006.01)I;C03B35/00(2006.01)N | 主分类号 | C23C14/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王一斌;王 琦 |
| 主权项 | 1、一种工件载盘，其特征在于，该工件载盘包括有：载盘主体，为一框体，其具有相互平行设置的框边以及均布于所述框边内缘的通孔；多个复位元件，其具有一固定块体以及一可枢转地连结于该固定块体的可动块体，所述固定块体设置于所述框边上；多个防镀遮片，其一侧边固定于所述复位元件的可动块体，并位于所述载盘主体的框边内缘的通孔上方的位置。 | ||
| 地址 | 中国台湾台南县安定乡中沙村沙仑39-5号 | ||