发明名称
摘要
申请公布号 JP4386468(B2) 申请公布日期 2009.12.16
申请号 JP19980542006 申请日期 1998.04.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/8249;H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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