发明名称 | 一种激光扩束器参数的计算方法 | ||
摘要 | 一种激光扩束器参数的计算方法,可自动计算激光扩束器的参数,上述激光扩束参数的计算方法包括:测量光束发散角参数;将上述光束发散角参数、扩束前光束尺寸以及扩束后光束尺寸输入激光扩束计算器;以及上述激光扩束计算器自动计算上述激光扩束器的参数。 | ||
申请公布号 | CN101604303A | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
申请号 | CN200910054585.4 | 申请日期 | 2009.07.09 |
申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 李仲禹 |
分类号 | G06F15/02(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I | 主分类号 | G06F15/02(2006.01)I |
代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
主权项 | 1.一种激光扩束器参数的计算方法,自动计算出激光扩束器的参数,其特征是,上述计算方法包括:测量光束发散角参数;将上述光束发散角参数、扩束前光束尺寸以及扩束后光束尺寸输入激光扩束计算器;以及上述激光扩束计算器自动计算上述激光扩束器的参数。 | ||
地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |