发明名称 一种激光扩束器参数的计算方法
摘要 一种激光扩束器参数的计算方法,可自动计算激光扩束器的参数,上述激光扩束参数的计算方法包括:测量光束发散角参数;将上述光束发散角参数、扩束前光束尺寸以及扩束后光束尺寸输入激光扩束计算器;以及上述激光扩束计算器自动计算上述激光扩束器的参数。
申请公布号 CN101604303A 申请公布日期 2009.12.16
申请号 CN200910054585.4 申请日期 2009.07.09
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 李仲禹
分类号 G06F15/02(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I 主分类号 G06F15/02(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈 蘅;李时云
主权项 1.一种激光扩束器参数的计算方法,自动计算出激光扩束器的参数,其特征是,上述计算方法包括:测量光束发散角参数;将上述光束发散角参数、扩束前光束尺寸以及扩束后光束尺寸输入激光扩束计算器;以及上述激光扩束计算器自动计算上述激光扩束器的参数。
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