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发明名称
摘要
申请公布号 JP2009545166(A) 申请公布日期 2009.12.17
申请号 JP20090521867 申请日期 2007.04.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;H01L21/306;H01L21/318;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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