薄膜型太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明公开了一种薄膜型太阳能电池及其制造方法，其中，薄膜型太阳能电池的制造方法包括：在衬底上顺序地沉积前电极层和半导体层；通过除去前电极层和半导体层的预定部分形成第一分隔槽；通过除去半导体层的预定部分形成接触部分和第二分隔槽；在第一分隔槽中形成第一绝缘层；以及多个后电极通过插置于其间的第二分隔槽以固定间隔形成，其中，各个后电极通过接触部分与前电极层电连接。与需要三次清洁工艺的现有技术不同，本发明在进行激光划片工艺后只需一次清洁工艺，因而由于简化的制造工艺使产量提高。与现有技术不同，根据本发明，不需要交替地将衬底装入真空沉积设备和激光划片设备，因而设备结构简单并且制造时间减少，由此使产量增加。

主权项

1.一种薄膜型太阳能电池的制造方法，包括：在衬底上顺序地沉积前电极层和半导体层；通过除去所述前电极层和所述半导体层的预定部分，形成第一分隔槽；通过除去所述半导体层的预定部分，形成接触部分和第二分隔槽。在所述第一分隔槽中形成第一绝缘层；以及形成多个后电极，所述多个后电极通过插置于其间的各个第二分隔槽以固定间隔形成，其中，各个后电极通过所述接触部分与所述前电极层电连接。