| 发明名称 | 用热解碳使多孔底材致密化的化学气相渗透法 | ||
| 摘要 | 将一个或多个致密化用的底材(10)置于炉(12)中，向其中导入含有热解碳前体气体以及载气的反应气体，该前体气体含有至少一种气态烃C<sub>x</sub>H<sub>y</sub>，其中x和y是整数且x使得1＜x＜6，载气包含至少一种选自甲烷和惰性气体的气体。从炉中提取含有导入气体的残留组分和反应产物，包括氢的废气，并将提取自废气并含有热解碳前体试剂气体的至少一部分气流再循环(回路80)到导入炉中的反应气体中，在去除废气中所含的重质烃(处理40)之后进行再循环。 | ||
| 申请公布号 | CN100569997C | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
| 申请号 | CN200680002993.X | 申请日期 | 2006.01.23 |
| 申请人 | 斯奈克玛动力部件公司 | 发明人 | J·泰博;S·贝特朗;C·罗班-布罗斯;B·贝尔纳;J-L·敦布勒德斯 |
| 分类号 | C23C16/04(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程 伟 |
| 主权项 | 1.用热解碳使多孔底材致密化的化学气相渗透法，该方法包括下列步骤：-将一个或多个致密化用的多孔底材装到炉中；-与包含至少一种选自甲烷和惰性气体的气体的载气一起，向炉中导入含有热解碳前体试剂气体的反应气体，该前体试剂气体含有至少一种气态烃CxHy，其中x和y是自然数且x使得1＜x＜6；和-从炉中提取含有导入气体的残留组分和反应产物，包括氢的废气；其特征在于：-至少测量提取自废气的气流中所含的热解碳前体气体和载气的量；-使至少一部分所述气流再循环到导入炉中的反应气体中；和-根据测得量，至少控制：在反应气体中再循环并含有热解前体试剂气体和载气的所述气流的流速；来自热解碳前体气体的外部来源并注入反应气体中的前体气体的流速；和来自载气外部来源并注入反应气体中的载气的流速；-以此获得导入炉中的反应气体中所需份额的热解碳前体气体。 | ||
| 地址 | 法国勒埃朗 | ||