激光振荡器

摘要

提供激光振荡器，在具有用于确认加工点、调整光路的光学系统的激光振荡器中即使框体热变形，引导光的光轴也不变化。具备：框体(10)；通过在光轴方向上延伸存在的三个支撑棒(24～26)相互平行连接的分别支撑构成光共振器(20)的光学部件的一对光学基台(21，22)；一对波纹管，连接光学基台(21，22)和框体(10)之间；连结构件(31)，对于框体(10)悬挂光学基台(21，22)；引导光光源(27)，输出用于进行从部分反射镜(23)到加工头之间的光路中的光学部件调整及加工点调整的引导光；和光学部件支撑构件(40)，具有导入激光的光学部件，引导光光源(27)设置于具备部分反射镜(23)的光学基台(22)。

主权项

1.一种激光振荡器，其特征在于，具备：振荡器框体；设置在上述振荡器框体的两侧，并通过在光轴方向上延伸存在的三个支撑棒相互平行连接的、分别支撑构成光共振器的光学部件的一对光学基台；一对波纹管，将上述一对光学基台与上述振荡器框体之间进行连接；板弹簧，对于上述振荡器框体悬挂上述一对光学基台；输出引导光的引导光光源，该引导光用于进行从射出激光的部分反射镜到对被加工物照射上述激光的加工头之间的光路中的光学部件的调整以及加工点的调整；以及光学部件支撑构件，具有在从上述部分反射镜到上述加工头之间的光路中向与设有上述光学基台的上述振荡器框体的侧面平行的方向导入上述激光的光学部件，在该激光振荡器中，上述引导光光源设置在具备上述部分反射镜的光学基台上。