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发明名称 C IMPLANTS FOR IMPROVED SIGE BIPOLAR TRANSISTORS YIELD
摘要
申请公布号 EP1396018(B8) 申请公布日期 2009.12.16
申请号 EP20020754741 申请日期 2002.06.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COOLBAUGH, DOUGLAS, D.;SCHONENBERG, KATHRYN, T.
分类号 H01L21/331;H01L21/265;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/10;H01L29/737 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
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