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经营范围
发明名称
摘要
申请公布号
JP4387143(B2)
申请公布日期
2009.12.16
申请号
JP20030303734
申请日期
2003.08.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;H01L29/786;H01L21/265;H01L21/336
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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