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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THE TREATMENT OF STRIP-SHAPED SUBSTRATE IN A VACUUM COATING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP2132354(A1) 申请公布日期 2009.12.16
申请号 EP20080748690 申请日期 2008.02.28
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 GOTTSMANN, LUTZ;LAIMER,GEORG;JAEGER, REINHARD
分类号 B01J4/00;C23C14/56;C23C16/54;F16J15/16 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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