| 发明名称 | 用于平面磁控管的磁体装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于平面磁控管的磁体装置，其中第一磁极包围第二磁极。这种磁体装置在纵向方向朝向靶线性运动一定数值的距离，且随后在相反方向向回移动相同数值的距离。在一个实施例中，产生附加的垂直运动。所述磁体装置被设计成北极与南极交替布置或互锁，且产生波浪形轨道。这样就能够从整个靶表面持续地溅射。 | ||
| 申请公布号 | CN100569995C | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
| 申请号 | CN200610066906.9 | 申请日期 | 2006.03.30 |
| 申请人 | 应用材料有限两合公司 | 发明人 | T·戴裴弛;A·洛普 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1.用于平面磁控管的磁体装置，其中第一磁极被设计成一矩形框架；所述磁体装置包括第二磁极，该第二磁极被设计成一线形棒，且其中该线形棒在其纵轴上有多个垂直臂，其特征在于，两个臂(9、10)各自位于所述棒(2)的端部，并被设置成相对于所述棒(2)的纵轴成约60°角(α)。 | ||
| 地址 | 德国阿尔则瑙 | ||