发明名称 SILICON-ON POROUS-SILICON;METHOD OF PRODUCTION
摘要
申请公布号 GB9025236(D0) 申请公布日期 1991.01.02
申请号 GB19900025236 申请日期 1990.11.20
申请人 SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE, THE 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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