| 发明名称 | 精细图案转印材料 | ||
| 摘要 | [目的]提供一种可以通过纳米压印有利地形成精细图案的转印材料。[解决方法]该纳米压印转印材料是一种精细图案树脂组合物，其包括有机硅化合物和周期表3-14族金属的金属化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN101606101A | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
| 申请号 | CN200880004392.1 | 申请日期 | 2008.02.07 |
| 申请人 | 昭和电工株式会社 | 发明人 | 藤田俊雄;内田博;森中克利;广濑克昌 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G11B5/127(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 林柏楠;刘金辉 |
| 主权项 | 1、一种用于纳米压印的精细图案转印材料，包含有机硅化合物和周期表3-14族金属的金属化合物。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||