| 发明名称 | 示教装置及示教方法 | ||
| 摘要 | 一种示教装置及示教方法，能够高精度地进行载体台相对于传送臂的高度的示教。上述示教装置在对具有载体台(5)和传送晶片的传送臂(4)的传送装置中、载体台(5)相对于上述传送臂(4)的高度进行示教时使用，载体台(5)搭载有收容晶片的载体(1)，上述示教装置具有：示教夹具(10)，其具有配置在载体(1)内的缝隙台(2)上的圆板(11)和安装在圆板(11)上的头部件(12)，头部件(12)具有突起部，突起部被设计成实现缝隙台(2)上配置的上述圆板(11)下方所配置的传送臂(4)与圆板(11)的最佳间隙；和检测器(20)，检测突起部和传送臂(4)的电接触。 | ||
| 申请公布号 | CN101604649A | 申请公布日期 | 2009.12.16 |
| 申请号 | CN200910149622.X | 申请日期 | 2009.06.15 |
| 申请人 | 恩益禧电子股份有限公司 | 发明人 | 绪方竹虎 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 孙志湧;李 亚 |
| 主权项 | 1.一种示教装置，在对具有载体台和传送晶片的传送臂的传送装置中、上述载体台相对于上述传送臂的高度进行示教时使用，上述载体台搭载有收容晶片的载体，上述示教装置的特征在于，具有：示教夹具，其具有配置在上述载体内的缝隙台上的圆板和安装在上述圆板上的头部件，该头部件具有突起部，该突起部被设计成实现上述缝隙台上配置的上述圆板下方所配置的上述传送臂与上述圆板的最佳间隙；和检测器，检测上述突起部和上述传送臂的电接触。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||