一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器

摘要

本发明公开了一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器，包括一个硅基板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述富集区包括悬空膜片、薄膜加热器和吸附薄膜，所述悬空膜片设置在硅基板上，所述薄膜加热器和吸附薄膜设置在悬空膜片表面上，所述顶盖设置有进气口和出气口，在悬空膜片和顶盖之间形成气流通道，其特征在于，所述悬空膜片采用聚酰亚胺薄膜，且不设穿孔，气流通道中的气流沿其表面流动。由于聚酰亚胺薄膜具有良好的韧性，因此聚酰亚胺膜片的尺寸可以远远大于无机刚性材料如SiN、SiO₂的膜片而不会破裂，不仅有效增大了富集面积，同时还兼顾了气流与吸附薄膜的有效接触，从而提高了富集率。

主权项

1、一种基于聚酰亚胺薄膜的膜片型气体富集器，包括一个硅基板、一个顶盖和设置在硅基板和顶盖之间的富集区，所述富集区包括悬空膜片、薄膜加热器和吸附薄膜，所述悬空膜片设置在硅基板上，所述薄膜加热器和吸附薄膜设置在悬空膜片表面上，所述顶盖设置有进气口和出气口，在悬空膜片和顶盖之间形成气流通道，其特征在于，所述悬空膜片采用聚酰亚胺薄膜，且不设穿孔，气流通道中的气流沿其表面流动。