发明名称 MECHANISM FOR POSITIONING IC
摘要
申请公布号 JPH03169038(A) 申请公布日期 1991.07.22
申请号 JP19890310164 申请日期 1989.11.28
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 HIRAKAWA KOJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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