| 发明名称 |
Method and apparatus for liquid-treating and drying a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1168422(B1) |
申请公布日期 |
2009.12.16 |
| 申请号 |
EP20010870138 |
申请日期 |
2001.06.26 |
| 申请人 |
IMEC |
发明人 |
MERTENS, PAUL;MEURIS, MARC |
| 分类号 |
F26B5/00;H01L21/00;B05D3/04;B08B3/04;B08B7/04;F26B3/04;F26B9/06;F26B13/10;F26B13/28;F26B21/14;H01L21/304 |
主分类号 |
F26B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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