机架、机架系统、热处理装置和热处理系统

摘要

本发明的目的在于提供一种可高密度地装载被加热物并进行热处理的热处理装置和具有该热处理装置的热处理系统。热处理系统(1)具有移载装置(2)和热处理装置(10)。热处理装置(10)构成为：在热处理室(13)内具有机架(30)，在其上下方向安装有多个架部件(40)。架部件(40)以与平行配置的3根横梁(41)大致正交的方式配置和接合纵梁(42)，移载装置(2)的手部(3)沿着纵梁(42)插入，进行基板的存取。

主权项

1.一种机架，其特征在于，其在上下方向设置有多个能够配置板状体的架部件，能够从侧面沿着架部件进行所述板状体的存取，所述架部件具有：在与相对于机架进行板状体存取的方向交叉的方向延伸的多个横梁，和沿着所述存取方向延伸的纵梁，由该纵梁连接2个以上的横梁，在上下方向邻接的架部件彼此之间，即纵梁的侧面，形成有沿着纵梁延伸的空间，作为用于进行板状体存取的移载装置的动作区域起作用。