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发明名称 CONTACT-BURIED METAL STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03248464(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900046113 申请日期 1990.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAZAKI KOJI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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