可动式探针单元及检查装置

摘要

本发明的课题是在于对于尺寸不同的液晶面板5，使作为接触子的探针13之调整作业的作业性提升。用以解决课题之手段为，为使探针块12的探针13接触于液晶面板5进行实验的检查装置。支承探针块12之可动式探针单元21具备有：主基座22；支承探针块12之资料讯号侧基座23；在任意的位置支承资料讯号侧基座23之复合交叉连杆24；可滑动地被支承于主基座22，以支承探针块12之闸门讯号侧基座25；将资料讯号侧基座23及闸门讯号侧基座25分别定位于设定位置并加以固定之定位固定治具27；及将所有的复数个探针块12同时地定位于各自的设定位置并加以支承之探针块用定位固定治具29。

主权项

一种可动式探针单元，支承具备有与检查对象板接触的接触子之探针块的可动式探针单元，其特征为：具备：分别配设于前述检查对象板的两侧位置，支承全体之主基座；支承前述探针块之资料讯号侧基座；将两支板状棒材可旋转地连结，且以连结销将复数组的前述板状棒材互相可旋转地连结，并且将前述各连结销安装在前述主基座或前述资料讯号侧基座，藉此在被前述主基座支承的状态下，在任意的位置支承前述资料讯号侧基座之复合交叉连杆；配设于与前述资料讯号侧基座正交之方向，在被2个前述主基座可滑动地支承之状态下，支承前述探针块之闸门讯号侧基座；分别设置于前述闸门讯号侧基座及前述资料讯号侧基座，可滑动地支承前述探针块之线性导件；将前述资料讯号侧基座及前述闸门讯号侧基座分别定位于设定位置并加以固定之定位固定治具；将所有的复数个前述探针块同时定位于各自的设定位置并加以支承之探针块用定位固定治具；以及配合前述检查对象板的尺寸设定而安装于复合交叉连杆，将前述资料讯号侧基座定位于设定位置并加以固定之定位固定连杆，将前述探针块定位于任意的位置并予以支承。