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经营范围
发明名称
拾取与安置装置
摘要
一种拾取与安置装置,其包括:在一预定配置下的数个装置支持元件;一力量供应机构,其用以供应一力量,俾以控制数个装置支持元件之间的一水平间距;一力量传输机构,其用以自该力量供应机构输送力量至该数个装置支持元件,俾以作为在一水平方向的平移力量;一第一线性动作引导机构,其用以引导数个装置支持元件中的一些元件作水平移动;以及一第二线性动作引导机构,其配置在第一线性动作引导机构下,用以引导其他装置支持元件的水平移动。该数个装置支持元件可滑动且交替地偶合至该第一及第二线性动作引导机构。
申请公布号
TWI318432
申请公布日期
2009.12.11
申请号
TW095143199
申请日期
2006.11.22
申请人
泰克元股份有限公司
发明人
沈载均;罗闰成;全寅九;具泰兴;吕东铉
分类号
H01L21/67
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
一种拾取与安置装置,其包括:在一预定配置下的数个装置支持元件;一力量供应机构,其用以供应一力量,俾以控制该数个装置支持元件之间的一水平间距;一力量传输机构,其用以自该力量供应机构输送力量至该数个装置支持元件,俾以作为在一水平方向的平移力量;一第一线性动作引导机构,其用以引导该数个装置支持元件中的一些元件的水平移动;以及一第二线性动作引导机构,其配置在该第一线性动作引导机构下,俾以引导该其他装置支持元件的水平移动。
地址
南韩
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