摘要 |
Ce résonateur de type à ondes de volumes à modes harmoniques HBAR destiné à travailler à une fréquence de travail prédéterminée comprenant : un transducteur piézoélectrique (6), un substrat acoustique (10), une contre-électrode (8) formé par une couche de métal collant une première face du transducteur (6) et une face du substrat acoustique (10), et une électrode (4) disposée sur une deuxième face du transducteur (6) opposée à la première face du transducteur (6) et le substrat (10), est caractérisé en ce que la disposition relative du transducteur (6) et du substrat (10) est telle que la direction de polarisation PA du mode de cisaillement du transducteur (6) et la direction de polarisation PB1 de l'au moins un mode de cisaillement du substrat (10) correspondant au deuxième angle ?2 de coupe sont alignées, et le deuxième angle de coupe ?2 du substrat (10) est tel que le coefficient de température de la fréquence du premier ordre CTFB1 correspondant est un extrémum local en valeur absolue inférieur à 20 ppm.K-1 et la variation de CTFB1 autour de cette valeur de ?2 est une variation douce inférieure en valeur absolue à 2 ppm.K-1 /degré.
|