奈米结晶矽点层的制造方法

摘要

一种奈米结晶矽点层的制造方法，此方法是在基底上形成一矽层，此矽层为一个混合结构包括一个部份结晶矽区域与一个部分非晶矽区域。然后，进行氧化制程，以使全部的非晶矽区域以及结晶矽区域的表面氧化成氧化矽，以形成一含奈米结晶矽点的氧化矽层。

主权项

一种奈米结晶矽点层的制造方法，包括：在一基底上形成一矽层，此矽层为一个混合结构包括一个部份结晶矽区域与一个部分非晶矽区域；以及进行一氧化制程，使全部的该些非晶矽区域以及该些结晶矽区域的表面氧化成氧化矽，以形成一含奈米结晶矽颗粒的氧化矽层。