主权项 |
一种运动控制器之热误差补偿模组,系由若干个温度感测元件侦测移动定位机台上的温度变化值,透过处理器计算出热误差补偿值,再将其补偿值传送给该移动定位机台之运动控制器,由该运动控制器执行该移动定位机台之热误差补偿动作,此热误差补偿模组包含:一资料通讯单元,系连接移动定位机台之运动控制器,用以该运动控制器与补偿模组间的资料传输;一处理器,系连接温度讯号处理单元与资料通讯单元,具有逻辑运算的功能,用以计算热误差补偿值,由温度讯号处理单元取得温度值,透过处理器内建的热误差补偿程式计算出补偿值后,再由资料通讯单元将补偿值传送给运动控制器;一温度感测元件,系安装于移动定位机台上,且连接温度讯号处理单元,用于感测移动定位机台或环境的温度变化情形;一温度讯号处理单元,系连接温度感测元件与处理器,用于将温度感测元件的原始讯号处理成处理器可接收的讯号。 |