发明名称
摘要
申请公布号 JPH0574942(B2) 申请公布日期 1993.10.19
申请号 JP19840269266 申请日期 1984.12.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGAWARA HIDEO;SHIGAKI MASAFUMI;NAKAMURA TAKAHARU
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L23/12;H01L27/06;H01P3/08;H01P5/02;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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