| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Kondensators für eine Halbleitereinrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19825266(B4) |
申请公布日期 |
2009.12.10 |
| 申请号 |
DE19981025266 |
申请日期 |
1998.06.05 |
| 申请人 |
LG SEMICON CO. LTD. |
发明人 |
JOO, JAE HYUN;SEON, JEONG MIN |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/28;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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