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发明名称 RANDRAD-TROCKENVERTEILER
摘要
申请公布号 DE602004023878(D1) 申请公布日期 2009.12.10
申请号 DE200460023878T 申请日期 2004.12.20
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 DAVIS, GLENN W.;WOODS, CARL;PARKS, JOHN;REDEKER, FRED C.;RAVKIN, MIKE;ORBOCK, MICHAEL L.
分类号 H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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