发明名称 Semiconductor devices having multi-level metal interconnects.
摘要
申请公布号 EP0336660(B1) 申请公布日期 1994.02.16
申请号 EP19890303207 申请日期 1989.03.31
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 COCHRAN, WILLIAM T.;HILLS, GRAHAM W.;GARCIA, AGUSTIN M.;YEH, JENN L.
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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