发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING AN OPTICAL CHARACTERISTIC OF AN OPTICAL SYSTEM |
摘要 |
<p>Ein Verfahren zum Bestimmen einer optischen Eigenschaft eines optischen Systems (12) umfasst die Schritte: Einstrahlen elektromagnetischer Strahlung (17) auf das optische System (12), Erfassen der elektromagnetischen Strahlung (17) mittels eines Detektors (36) nach Wechselwirkung derselben mit dem optischen System (12), periodisches Unterbrechen der elektromagnetischen Strahlung (17), so dass die elektromagnetische Strahlung (17) in zeitlich begrenzten Strahlungspaketen auf den Detektor (36) auftrifft, sowie Auswerten von mindestens zwei vom Detektor (36) erfassten Strahlungspaketen zum Bestimmen der optischen Eigenschaft des optischen Systems (12).</p> |
申请公布号 |
WO2009146855(A1) |
申请公布日期 |
2009.12.10 |
申请号 |
WO2009EP03853 |
申请日期 |
2009.05.29 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT AG;HAIDNER, HELMUT;DRESSEN, MARTIN;TUERKE, DIANA |
发明人 |
HAIDNER, HELMUT;DRESSEN, MARTIN;TUERKE, DIANA |
分类号 |
G01M11/02;G03F7/20 |
主分类号 |
G01M11/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|