发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING AN OPTICAL CHARACTERISTIC OF AN OPTICAL SYSTEM
摘要 <p>Ein Verfahren zum Bestimmen einer optischen Eigenschaft eines optischen Systems (12) umfasst die Schritte: Einstrahlen elektromagnetischer Strahlung (17) auf das optische System (12), Erfassen der elektromagnetischen Strahlung (17) mittels eines Detektors (36) nach Wechselwirkung derselben mit dem optischen System (12), periodisches Unterbrechen der elektromagnetischen Strahlung (17), so dass die elektromagnetische Strahlung (17) in zeitlich begrenzten Strahlungspaketen auf den Detektor (36) auftrifft, sowie Auswerten von mindestens zwei vom Detektor (36) erfassten Strahlungspaketen zum Bestimmen der optischen Eigenschaft des optischen Systems (12).</p>
申请公布号 WO2009146855(A1) 申请公布日期 2009.12.10
申请号 WO2009EP03853 申请日期 2009.05.29
申请人 CARL ZEISS SMT AG;HAIDNER, HELMUT;DRESSEN, MARTIN;TUERKE, DIANA 发明人 HAIDNER, HELMUT;DRESSEN, MARTIN;TUERKE, DIANA
分类号 G01M11/02;G03F7/20 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人
主权项
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