| 主权项 |
1﹒一种可密封转移之容器,包含: 一容器有一内部区域及一密封表面; 一容器门有一内表面; 一导电衬垫设于上述容器门之内表面上; 一垫片设于上述容器门上; 一膜片覆盖并接合至上述导电衬垫及垫片 ,该膜片有一便上述导电衬垫之一部份站 出之开口;以及 锁闩装置,用以将上述容器门固着至容器。 2﹒根据申请专利范围第1项之可密封转移之 容器,另包含用以将上述导电衬垫与上述 容器内部区域外之固定电位电连接之装置。 3﹒根据申请专利范围第1项之可密封转移之 容器,其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为含氟塑胶。 4﹒根据申请专利范围第1项之可密封转移之 容器,其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为聚醯胺。 5﹒根据申请专利范围第1项之可密封转移之 容器,另包含连接至上述容器门并覆盖导 电衬垫之卡匣导承。 6﹒根据申请专利范围第3项之可密封转移之 容器,另包含连接至上述容器门并覆盖导 电衬垫之卡匣导承。 7﹒根据申请专利范围第1项之可密封转移之 容器,另包含: 覆盖上述导电衬垫之卡匣定位导承;以及 用以使上述定位导承固着至容器门之装置。 8﹒根据申请专利范围第1项之可密封转移之 容器,其中上述锁门装置包含用以使上述 容器门在密封方向相对于容器移动之装置 ,致使容器之密封表面配合上述膜片覆盖 垫片部份并压紧垫片,以提供密封使上述 内部区域与周围压力状况隔离。 9﹒一种可密封转移之容器,用以容纳一内含 物件之卡匣者,包含: 一容器有一容纳该卡匣之内部区域及一密 封表面; 一容器门有一内表面; 一导电衬垫设于上述容器门之内表面上, 该导电衬垫有一卡匣容纳区域; 一垫片覆盖上述容器门内表面之一部份; 一膜片覆盖并接合至上述导电衬垫及垫片 ,该膜片有一使上述导电衬垫之卡匣容纳 区域露出之开口; 一卡匣导承覆盖上述导电衬垫之卡匣容纳 部份; 用以将上述卡匣导承固着至容器门之装置 ;以及 锁门装置包含用以使上述容器门在密封方 向相对于容器移动之装置,致使容器之密 封表面配合上述膜片覆盖垫片之部份并压 紧垫片,以提供密封使上述内部区域与周 围状况隔离。 10﹒根据申请专利范围第9项之可密封转移之 容器,另包含用以将上述导电衬垫与上 述容器内部区域外之电路径电连接之装置。 11﹒根据申请专利范围第9项之可密封转移之 容器,其中上述容器门将导电衬垫与上 述容器内部区域外之地电位电连接。 12﹒根据申请专利范围第9项之可密封转移之 容器, 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为含氟塑胶。 13﹒根据申请专利范围第9项之可密封转移之 容器,其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为聚醯胺。 14﹒根据申请专利范围第9项之可密封转移之 容器,其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为聚酯。 15﹒根据申请专利范围第9项之可密封转移之 容器,其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为聚丙烯。 16﹒一种标准化机械式界面(SMIF)容器,包 含: 一箱有一内部区域,一第一密封表面,及 至少二锁门贴接表面; 一箱门有一第二密封表面; 一导电衬垫设于上述箱门之内表面上; 一垫片设于上述箱门上; 一膜片覆盖并接合至上述导电衬垫及垫片 ,该膜片有一使导电衬垫露出之开口,该 膜片覆盖垫片之部份及该垫片配合各别上 述第一及第二密封表面之一,以提供密封 ,于上述箱门在密封方向相对于上述箱移 动时,使上述内部区域与周围状况隔离; 第一及第二锁门构件设于上述箱门上,每 一锁门构件至少有二箱贴接部份并可在一 分离位置,一贴按位置与一完成贴接位置 之间移动,因而该销闩构件适于由分离位 置移动至完成贴接位置,而不接触上述箱 ,并且因而该锁门构件自贴接位置至完成 贴按位置之移动导致锁门构件之上述箱贴 接部份接触上述锁闩贴接面,而不使锁闩 构件刮过锁闩贴接面,及使箱门在密封方 向移动;以及二级凸轮装置在上述箱门位 于中央,用以在第一独立操作阶段使该锁 闩构件自分离位置移动至贴接位置,及用 以在第二独立操作阶段使该锁门构件自贴 接位置移动至完成贴接位置。 17﹒根据申请专利范围第16项之SMIF容器, 其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为含氟。 18﹒根据申请专利范围第16项之SMIF容器, 其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料;以及 上述膜片为聚醯胺。 19﹒一种SMIF容器,用以使将予处理之物品 保持清洁者,包含: 一箱有第一及第二箱顶密封表面; 一箱门有一箱门密封表面; 一导电衬垫设于上述箱门之内表面上; 一垫片设于上述箱门上; 一膜片覆盖并接合至上述导电衬垫及垫片 ,该膜片有一使导电衬垫露出之开口,该 膜片覆盖上述垫片之部份配合上述第一及 第二密封表面,以提供密封,于上述箱门 在密封方向相对于上述箱移动时,使上述 内部区域与周围状况隔离; 一出入口板有第一及第二出入口板密封表 面,第一出入口板密封表面可密封配合第 二箱顶密封表面以供作成一第二密封;以 及 一出入口门有一第一出入口门密封表面可 密封配合第二出入口板密封表面以供作成 一第三密封,出入口门包括用以操作上述 第二装置之装置。 20﹒根据申请专利范围第19项之SMIF容器, 其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料; 上述膜片为含氟塑胶。 21﹒根据申请专利范围第19项之SMIF容器, 其中: 上述导电衬垫为不锈钢; 上述垫片为透气材料; 上述膜片为聚醯胺。 |
