| 主权项 |
1﹒一种交指对偶结构的一维位置感知元件, 系包含有两个呈复数的指状布局结构之半 导体材料所制成之PN或NP光感知元件,该 复数的指状布局的指宽结构中,系以其中 之一感光元件由细而粗的以等差函数或对 数函数变化的函数分布;另一感光元件则 为由粗而细的相同函数分怖,两者呈互补 而交指状的配置,当光点坐落于该位置感 知元件上时,由其上两感知元件感应之光 电流之比値,获得此光点在元件上之座标 ;或与此座标相关的各种应用光学资讯。 2﹒如申请专利范围第1项所述之交指对偶结 构的一维位置感知元件,其中该坐落于位 置感光元件之光点可远大于感光元件之指 头间距(Pitch),而无须精密之聚光透镜 装置;该位置感光元件之长度仅为传统元 件之一半:而在上述指宽的特定的分布函 数可为任意设定而能配合各种应用中所需 要的信号转换者,该分布函数尤其特脂为 对软等差变动、对数变动及等距不变之分 布函数者;又另在此元件无必须具备之表 面电阻,则其匹配之前置放大器电路设计 较为简易。 3﹒如申请专利范围第1项所述之交指对偶结 构的一维位置感知元件,其中该靠近元件 表面之渗杂浓度,系较高于其底材者,具 有用以防止雨交指状互补感光元件间之横 向打穿(Punchthrough)现象之发生者。 4﹒如申请专利范围第1项所述之交指对偶结 构的一维位置感知元件,尤指应用于照相 机自动对焦功能之位置感知者。 5﹒如申请专利范围第1项之该交指对偶结构 的一维位置感知元件,尤指于各种精密工 具中之座标及位移量之测最与控制用者。图示简 单说明: 图一系为习用照相机自动对焦功能中之 三角测量法示意图; 图二系为习用之位置感知元件之结构剖 视图; 图三系为图二中习用位置感知元件等效 电路图; 图四系为本创作之结构平面图; 图五系为图四结构之剖视图及部份扩大 视图; 图六系为本创作于光点直径较小时 (107 微米),两交指元件之感应光电流呈现锯齿 状之跳动变化现象,而无法依式(3)得到光 点坐标X之判断; 图七系为本创作于光点直径较大时(876 微米],两感应电流呈平滑变化,可易于用 于式(3)中得到准确的X値计算; 图八系为三角测量自动对焦光电信号转 换处理方块电路示意图; 图九系为本创作以等差分布函数之指宽 布局所获(I|-I|)/(I|+I|)实验数 据与X呈良好之线性关系图。 |
