Anordnung zur Aufhängung und Kontaktierung eines piezoelektrischen Bauelements

摘要

Es wird eine Anordnung zur Aufhängung und Kontaktierung eines piezoelektrischen Bauelements (1) angegeben, das mehrere Elektrodenschichten aufweist. Die Anordung weist ein Substrat (2) auf, auf dem elektrische Leiterbahnen (3) angeordnet sind. Das piezoelektrische Bauelement (1) ist über dem Substrat (2) an wenigstens zwei seiner Randbereiche, in denen das Bauelement Schwingungsknoten (4a, 4b) aufweist, aufgehängt und elektrisch kontaktiert. Das piezoelektrische Bauelement (1) ist von dem Substrat (2) beabstandet und die Schwingungen des piezoelektrischen Bauelements (1) bleiben durch die Aufhängung weitgehend unbeeinflusst.