METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING THIN LAYERS OF POLYMERIC PARA-XYLYLENE OR SUBSTITUTED PARA-XYLYLENE

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Abscheiden ein oder mehrerer dünner Schichten aus polymeren Para-Xylylene mit einem beheizten Verdampfer (1) zum Verdampfen eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffs, in welchem Verdampfer (1) eine Trägergaszuleitung (11) für ein Trägergas mündet, mit welchem Trägergas der verdampfte Ausgangsstoff insbesondere das verdampfte Polymer, in eine dem Verdampfer (1) nachgeordnete Pyrolysekammer (2) transportiert wird, in welcher der Ausgangsstoff zerlegt wird, und mit einer der Zerlegungskammer (2) nachgeordneten Depositionskammer (8), welche einen Gaseinlass (3), durch welchen das vom Trägergas transportierte Zerlegungsprodukt eintritt, einen Suszeptor (4), welcher eine dem Gaseinlass (3) gegenüberliegende Tragfläche (41) aufweist zur Auflage eines mit dem polymerisierten Zerlegungsprodukt, zu beschichtenden Substrates (7), und einen Gasauslass (5) aufweist. Damit eine großflächige, dünne und insbesondere hinsichtlich der Schichtdicke homogene Polymerschicht abgeschieden werden kann, wird vorgeschlagen, dass der Gaseinlass (3) einen Gasflächen Verteiler ausbildet, der eine sich parallel zur Tragfläche (41) erstreckende Gasaustrittsfläche (31) aufweist, mit einer Vielzahl von über die gesamte Gasaustrittsfläche (31) verteilt angeordneten Gasaustrittsöffnungen (6).