METHOD FOR CONVERTING SILICON TETRACHLORIDE OR MIXTURES OF SILICON TETRACHLORIDE AND DICHLOROSILANE USING METHANE

摘要

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Konvertierung von a) SiCl4 oder Gemischen aus SiCl4 und H2SiCl2 mit b) Methan, bei Temperaturen von 600 bis 1100°C, zur Herstellung von Methylchlorsilanen.