| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Piezowandlern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE502006005264(D1) |
申请公布日期 |
2009.12.10 |
| 申请号 |
DE20065005264T |
申请日期 |
2006.11.09 |
| 申请人 |
FESTO AG & CO. KG |
发明人 |
SCHMID, ANDREAS JOSEPH DR.-ING.;WEINMANN, MICHAEL DR.-ING. |
| 分类号 |
H01L41/22;H01L41/312;H01L41/338 |
主分类号 |
H01L41/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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