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经营范围
发明名称
IONENSPEICHER
摘要
申请公布号
DE60140314(D1)
申请公布日期
2009.12.10
申请号
DE20016040314
申请日期
2001.12.14
申请人
MKS INSTRUMENTS INC.
发明人
SMITH, DONALD K.;HORNE, STEPHEN;BESEN, MATTHEW M.
分类号
H01J49/42
主分类号
H01J49/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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