发明名称 ELECTRON DETECTION SYSTEMS AND METHODS
摘要 Systems and methods to detect electrons from one or more samples are disclosed. In some embodiments, the systems and methods involve one or more magnetic field sources.
申请公布号 WO2009148881(A2) 申请公布日期 2009.12.10
申请号 WO2009US45145 申请日期 2009.05.26
申请人 CARL ZEISS SMT INC.;HILL, RAYMOND;NOTTE IV, JOHN, A. 发明人 HILL, RAYMOND;NOTTE IV, JOHN, A.
分类号 G01N23/225;H01J37/26 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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