PROCESS FOR DEPOSITION OF ADHERENT METALLIC, CERAMIC OR CARBON LAYERS ON TEMPERATURE-SENSITIVE MATERIALS,申请号EP19930103513-传众专利搜索

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发明名称	PROCESS FOR DEPOSITION OF ADHERENT METALLIC, CERAMIC OR CARBON LAYERS ON TEMPERATURE-SENSITIVE MATERIALS
摘要
申请公布号	EP0564819(A3)	申请公布日期	1996.01.03
申请号	EP19930103513	申请日期	1993.03.05
申请人	MULTI-ARC OBERFLAECHENTECHNIK GMBH	发明人	VETTER, JOERG, DR. RER. NAT.;ROTHER, BERND, DR. RER. NAT.;KUEHN, MICHAEL, DIPL.-PHYS.;SCHMIDTBAUER, SVEN
分类号	C23C14/06;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/06;C23C14/14	主分类号	C23C14/06
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