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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DOTIERTEN POLYZIDSCHICHT AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT139058(T) 申请公布日期 1996.06.15
申请号 AT19900120324T 申请日期 1990.10.23
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHWALKE, UDO, DR.;BURMESTER, RALF
分类号 H01L21/28;H01L21/3215;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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