Röntgenstrahl-Belichtungsvorrichtung,申请号DE19896026873T-传众专利搜索

发明名称	Röntgenstrahl-Belichtungsvorrichtung
摘要
申请公布号	DE68926873(T2)	申请公布日期	1996.12.12
申请号	DE19896026873T	申请日期	1989.10.04
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TANAKA, YUTAKA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;MIZUSAWA, NOBUTOSHI, YAMATO-SHI KANAGAWA-KEN, JP;AMEMIYA, MITSUAKI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KARIYA, TAKAO, HINO-SHI TOKYO, JP;SHIMODA, ISAMU, ZAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号	G21K5/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G21K5/00
代理机构		代理人
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