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发明名称 Mikrolaser auf Siliziumbasis mit dotierten Glasdünnschichtfilmen
摘要
申请公布号 DE69303871(T2) 申请公布日期 1996.12.12
申请号 DE19936003871T 申请日期 1993.09.15
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 CHO, CHIH-CHEN, RICHARDSON, TEXAS 75082, US;DUNCAN, WALTER M., DALLAS, TEXAS 75238, US
分类号 H01L27/15;H01S3/06;H01S3/063;H01S3/07;H01S3/08;H01S3/16;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/04;H01S5/10;H01S5/183;H01S5/32;(IPC1-7):H01S3/06;H01L33/00 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
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