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经营范围
发明名称
METALLIONENREDUZIERUNG IN ANTIREFLEXUNTERSCHICHTEN FÜR PHOTORESIST
摘要
申请公布号
DE69313132(D1)
申请公布日期
1997.09.18
申请号
DE19936013132
申请日期
1993.11.08
申请人
HOECHST CELANESE CORP., SOMERVILLE, N.J., US
发明人
RAHMAN, DALIL M., WARWICK, RI 02886, US
分类号
G03F7/11;C09D133/02;C09D135/08;C09D161/04;C09D161/06;G03F1/14;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09
主分类号
G03F7/11
代理机构
代理人
主权项
地址
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