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Eine Vorrichtung (1) zum Sterilisieren von Behältnissen (10) mit einem Behandlungskopf (5), der ein Austrittsfenster (8) aufweist, durch welches hindurch Ladungsträger hindurchtreten können, mit einer Ladungsträgererzeugungsquelle, die Ladungsträger erzeugt und einer oberhalb des Austrittsfensters angeordneten Beschleunigungseinrichtung (6), welche die Ladungsträger in Richtung des Austrittsfensters (8) beschleunigt und mit einer Kühleinrichtung (30) zum Kühlen des Austrittsfensters. Erfindungsgemäß weist die Kühleinrichtung (30) eine Zuführungsöffnung (32) für ein gasförmiges Medium auf, welche unterhalb des Austrittsfensters (8) angeordnet ist und das gasförmige Medium wenigstens teilweise von unten auf das Austrittsfenster (8) richtet.
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