基于纳米结构的全光谱广角聚光器的制作方法

摘要

本发明提供一种基于纳米结构的全光谱广角聚光器的制作方法，首先设计加工适度聚焦倍数的聚光器；然后在清洁的聚光器两面沉积一定厚度的金属层，再高温快速退火形成适度大小的金属球；继而在金属球的掩膜下，经干法刻蚀，在聚光器两面形成一定深度的亚波长结构；最后通过相应的金属湿法腐蚀液去除相应的金属球，获得亚波长结构的高效全光谱广角透射的聚光器。采用亚波长结构的聚光器，可以在宽光谱大角度范围内获得良好的增透效果，可有效提高聚光器的收集效率；而且该种亚波长结构只是在原有聚光器材料上形成，无需外来介质，因此，增透效果更加稳定持久。

主权项

1.基于纳米结构的全光谱广角聚光器的制作方法，其特征在于：包括以下步骤——①首先加工聚光器；②在聚光器的两面沉积金属膜；③将沉积金属膜的聚光器放入退火炉中，热退火形成金属球；④在金属球的掩膜下，经干法刻蚀，使聚光器两面形成亚波长结构；⑤采用金属腐蚀液湿法刻蚀去除金属球，获得亚波长结构的高效全光谱广角透射的聚光器。