保温式多功能离子化学热处理装置

摘要

本发明属于一种利用直流辉光放电产生的等离子体对黑色金属材料表面进行化学热处理的保温式多功能离子化学热处理装置。本装置采用外保温式真空炉体结构，炉内放置铁制笼子，笼子与直流高压电源的负极相接；被处理的工件置于笼子的中间，并接直流负偏压。在离子化学热处理过程中，笼子发生气体辉光放电，起到工件的加热源和激活反应气体的离子屏双重作用，而且笼子上的直流电压值应始终高于工件上的直流电压值。由于采取了炉内辅助加热和炉体保温两项措施，提高了炉内空间的温度和工件的温度均匀性，节能效果显著。在离子化学热处理过程中，灵活地运用两套直流电源和离子屏，即可满足不同离子化学热处理工艺的要求。

主权项

1一种保温式多功能离子化学热处理装置，其特征在于离子化学热处理装置的真空炉体外壁包覆一层保温材料，炉内有一铁制笼子，接直流高压电源的负极，欲处理的工件置于笼子中间，接直流偏压电源的负极，两个直流电源的正极均接在炉壳上，并接地保护。